Sensores químicos de película delgada
Los sensores de gases han experimentado un importante desarrollo tecnológico en la última década que se concreta con la aparición de diferentes tecnologías y nuevos materiales. Dentro de los diferentes tipos de sensores de gases, los conductométricos concentran gran parte del esfuerzo científico internacional en investigación y desarrollo, especialmente en la detección de gases como metano y monóxido de carbono. El objetivo de este trabajo consistió en la preparación de películas delgadas de óxidos semiconductores (LaFeO3, ZnO y WO3), el estudio de sus propiedades estructurales y morfológicas, y su caracterización funcional en vistas de su integración en dispositivos sensores de gases. Las películas delgadas se depositaron utilizando la técnica de Ablación Láser, variando diferentes parámetros del proceso, tales como la temperatura, la atmósfera y el tiempo de depósito. Se estudió la estructura y morfología de las capas obtenidas utilizando diferentes técnicas de caracterización, y se analizó su influencia en las propiedades funcionales de los sensores expuestos a distintas mezclas gaseosas conteniendo NO2, CO o C6H6. La Sensibilidad de los sensores en presencia de diferentes mezclas gaseosas depende fuertemente de las condiciones de trabajo utilizadas. Los sensores de LaFeO3 mostraron una alta sensibilidad en presencia de una mezcla con NOx (300 ppm) operando a 600ºC. Los microsensores de ZnO no resultaron sensibles a ninguna de las mezclas gaseosas evaluadas. Bajo ciertas condiciones de trabajo, los microsensores de WO3 resultaron apropiados para la detección de 1 ppm de C6H6; mientras que, bajo otras condiciones, dichos sensores son los más adecuados para la detección de 30 ppm de CO. Sin embargo, estos sensores no resultan adecuados para la detección de NO2.
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | info:eu-repo/semantics/doctoralThesis biblioteca |
| Language: | spa |
| Published: |
Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
|
| Subjects: | SENSORES QUIMICOS DE GAS, PELICULAS DELGADAS, ABLACION LASER, CHEMICAL GAS SENSORS, THIN FILMS, PULSED LASER DEPOSITION, |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/20.500.12110/tesis_n3836_Vignolo http://repositoriouba.sisbi.uba.ar/gsdl/cgi-bin/library.cgi?a=d&c=aextesis&d=tesis_n3836_Vignolo_oai |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|