APA (7th ed.) Citation

Linares Aranda,M, Calleja Arriaga,W, Torres Jacome,A, & Báez Álvarez,C.R. (2017). A modular and generic monolithic integrated MEMS fabrication process. Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Linares Aranda,M, Calleja Arriaga,W, Torres Jacome,A, and Báez Álvarez,C.R. A Modular and Generic Monolithic Integrated MEMS Fabrication Process. Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C, 2017.

MLA (8th ed.) Citation

Linares Aranda,M, et al. A Modular and Generic Monolithic Integrated MEMS Fabrication Process. Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C, 2017.

IICA/CATIE Citation

Linares Aranda,M, Calleja Arriaga,W, Torres Jacome,A, ; Báez Álvarez,C.R. 2017. A modular and generic monolithic integrated MEMS fabrication process. Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.